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半導体微細パターニング : 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術

岡崎信次監修. -- エヌ・ティー・エス, 2017. <BB30216390>
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半導体微細パターニング : 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術

岡崎信次監修. -- エヌ・ティー・エス, 2017. <BB30216390>
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No. Volumes Library Location Call No Material ID Status Due Date Reservation
0001 Mejiro 物理 ||549.7||Han 25663620 配架済 0items
No. 0001
Volumes
Library Mejiro
Location 物理
Call No ||549.7||Han
Material ID 25663620
Status 配架済
Due Date
Reservation 0items
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Bibliography Details

title and statement of responsibility area 半導体微細パターニング : 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術 / 岡崎信次監修
ハンドウタイ ビサイ パターニング : ゲンカイ オ コエル ポスト ヒカリ リソグラフィ ギジュツ
publication,distribution,etc.,area 東京 : エヌ・ティー・エス , 2017.4
physical description area ii, x, 382, 12p, 図版vip : 挿図 ; 27cm
Volume Information
ISBN 9784860434670
note 執筆者: 岡崎信次, 柴崎祐一, 松永隆ほか
note 文献: 各節末
NCID BB23688949
text language code Japanese
author link 岡崎, 信次||オカザキ, シンジ <AU00151158>
classification Electronic engineering NDC8:549.7
classification Electronic engineering NDC9:549.7
subject headings リソグラフィー||リソグラフィー
subject headings 半導体||ハンドウタイ
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