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日本女子大学図書館システム JWULIS
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半導体微細パターニング : 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術
岡崎信次監修. -- エヌ・ティー・エス, 2017. <BB30216390>
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半導体微細パターニング : 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術
岡崎信次監修. -- エヌ・ティー・エス, 2017. <BB30216390>
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No.
巻号
所蔵館
配置場所
請求記号
資料ID
状態
返却予定日
予約
0001
目白地区
物理
||549.7||Han
25663620
配架済
0件
No.
0001
巻号
所蔵館
目白地区
配置場所
物理
請求記号
||549.7||Han
資料ID
25663620
状態
配架済
返却予定日
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書誌詳細
標題および責任表示
半導体微細パターニング : 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術 / 岡崎信次監修
ハンドウタイ ビサイ パターニング : ゲンカイ オ コエル ポスト ヒカリ リソグラフィ ギジュツ
出版・頒布事項
東京 : エヌ・ティー・エス , 2017.4
形態事項
ii, x, 382, 12p, 図版vip : 挿図 ; 27cm
巻号情報
ISBN
9784860434670
注記
執筆者: 岡崎信次, 柴崎祐一, 松永隆ほか
注記
文献: 各節末
学情ID
BB23688949
本文言語コード
日本語
著者標目リンク
岡崎, 信次||オカザキ, シンジ <AU00151158>
分類標目
電子工学 NDC8:549.7
分類標目
電子工学 NDC9:549.7
件名標目等
リソグラフィー||リソグラフィー
件名標目等
半導体||ハンドウタイ
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